機液伺服閥是將小功率的機械動作轉變為液壓輸出量（流量或壓力）的機液轉換元件。機液伺服閥大都是滑閥式結構，在船舶的舵機、機床的仿形裝置、飛機的助力器上應用最早。電液伺服閥是將電量轉變成液壓輸出量的電液轉換元件，出現于1940年。到50年代，這種元件的結構趨于成熟。隨著電子技術和計算機技術的發展，電液伺服系統的性能得到顯著改善，大大優于其他的液壓伺服系統，因而得到廣泛應用。電液伺服閥的內部結構可分滑閥位置反饋、載荷壓力反饋和載荷流量反饋；閥的級數可分單級、雙級和多級。在電液伺服閥中，將電信號轉變為旋轉或直線運動的部件稱為力矩馬達或力馬達。力矩馬達浸泡在油液中的稱為濕式，不浸泡在油液中的稱為干式。其中以滑閥位置反饋、兩級干式電液伺服閥應用。圖為電液伺服閥的工作原理。力矩馬達在線圈中通入電流后產生扭矩，使彈簧管上的擋板在兩噴嘴間移動，移動的距離和方向隨電流的大小和方向而變化。例如擋板向右移近噴嘴時，就在主閥芯兩端面上產生壓力差推動主閥芯左移 易安基 EMG 伺服閥SV1-10/48/315/8

EMG探頭EVK 2-CPS/1200. 53/L

EMG對中光源LLS1275/01 LICHTBAND

德國EMG 攝像頭 LS14.01

德國EMG 攝像頭 LS13.01 

EMG LLS675/01光源

EMG LLS875/01線性光源發射器

EMG光源LLS1075/01

EMG LWH-0300位置傳感器  

EMG  LPS225.01位置傳感器  

EMG SV1-10/4/315/6

EMG SV1-10/4/100/6

EMG SV1-10/8/100/6

EMG SV1-10/4/120/6伺服閥

EMG SV1-10/4/120/6伺服閥

EMG SV1-10/8/315/6 伺服閥

EMG SV1-10/8/120/6伺服閥

EMG SV1-10/16/120/6伺服閥

EMG SV1-10/16/315/6伺服閥

EMG SV1-10/16/210/6 伺服閥 

形狀記憶合金（SMA）的特點是具有形狀記憶效應。將其在高溫下定型后，冷卻到低溫狀態，對其施加外力。一般金屬在超過其彈性變形后會發生變形，而SMA卻在將其加熱到某一溫度之上后，會恢復其原來高溫下的形狀。利用其特性研制的伺服閥是在閥芯兩端加一組由形狀記憶合金繞制的SMA執行器，通過加熱和冷卻的方法來驅動SMA執行器，使閥芯兩端的形狀記憶合金伸長或收縮，驅動閥芯作用移動，同時加入位置反饋來提高伺服閥的控制性能。

易安基 EMG 伺服閥SV1-10/48/315/8

EMG SV1-10/32/100/6伺服閥

EMG SV1-10/32/315/6伺服閥  

EMG SV1-10/32/315/8伺服閥

EMG SV1-10/32/100/6伺服閥  

EMG SV1-10/48/315/8伺服閥

EMG SV1-10/48/315/6伺服閥

EMG SV2-10/64/210/6伺服閥

EMG SV2-16/125/315/1/1/01伺服閥

EMG KLW150.012傳感器

EMG KLW225.012傳感器

EMG KLW300.012傳感器

EMG KLW360.012傳感器

EMG KLW450.012傳感器  

EMG KLW600.012傳感器

EMG LLS675/02 LICHTBAND對中整流器

EMG發射光源/L1C770/01-24VDC/3.0A升級型號LLS875/01

EMG DMC2000-B3-160-SMC002-DCS電動執行器

EMG LIC2.01.1電路板

EMG EVB03/235351放大器    

EMG DMCR59-B1-10電動執行器  

EMG EVK2-CP/300.02/R光電傳感器EMG位置傳感器LWH-0300

EMG電動執行器DMCR59-B1-10

EMG伺服閥SV1-10/32/315/6

EMG伺服閥SV1-10/32/315/8

EMG伺服閥SV1-10/48/315/8